Deposition and growth - limits for microelectronics, Anaheim, CA, 1987
- Författare
- (Editor: G.W. Rubloff.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska

Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
---|---|---|---|---|
American Institute of Physics | 1988 | USA, New York | 388 sidor. ill., diagr. |